事業案内

営業品目

単結晶Buffer基板

当社の成膜Waferは、JEITA規格、SEMI規格の4inch、6inch、8icnhのWaferサイズに対応しています。基板の種類は、ベアSi(100)が標準となります。お客様のご要望に応じて、ご相談の上、Si(111)や、SOI基板への成膜受託も対応しております。

ZrO2基板

金属であるジルコニウム(Zr)の酸化物である二酸化ジルコニウムはジルコニアとも呼ばれ、高い融点をもつ物質として知られていますが、結晶構造としては、空間群P4₂/nmcに分類されるDitetragonal dipyramidal構造をとります。このピラミッド構造は上層の材料の格子定数に合わせるように変形し、上層材料の単結晶化に寄与しています。これが当社の単結晶技術のキーテクノロジーとなっています。
お客様で圧電薄膜材料を成膜するBuffer層としてご使用いただけます。

Pt基板

低抵抗で、薄膜化が可能なため、圧電薄膜材料の成膜時に電極として多く使用されています。お客様からのご指定により、ZrO₂上にPt膜を成膜したものを提供いたします。

単結晶SRO基板

ルテニウム酸ストロンチウム(SrRuO₃)は強磁性体金属酸化物の一種でRuddlesden-popper型化合物です。結晶構造はペロブスカイト型構造をとり、Pt膜上に成膜することによって、膜安定性を向上させます。

基板以外の提供可能製品

・開発中AlN・LN材料の成膜受託(膜構成ご相談)
・MEMS試作加工の受託(内容ご相談)
・MEMS設計・技術のコンサルティング(内容ご相談)

 MicroInnovators Laboratory 株式会社

〒755-0152山口県宇部市あすとぴあ2-1-17
TEL:0836-39-3582 平日9:00〜17:30